A novel optimization method to automated wet-etch station scheduling in semiconductor manufacturing systems
Autores: Aguirre, A.M.; Méndez, C.A.
Pág. inicio: 883 - Pág. fin: 888
Páginas totales: 1342
Título del libro: Computer-Aided Chemical Engineering - 28
Editores: S. Pierucci y G. Buzzi Ferraris
Editorial: Elsevier Science
ISBN: 978-0-444-53569-6
Período: 2010
Línea: Programación de Operaciones en Plantas de Manufactura "Batch" y Contínuas